[26a-E202-1~9] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[26a-E202-3] VUV Emission at Room Temperature of Rocksalt-Structured MgZnO Grown by Mist CVD

〇Kotaro Ogawa^1,2, Wataru Kosaka², Hiroya Kusaka², Izumi Serizawa¹, Kentaro Kaneko³, Tomohiro Yamaguchi², Shizuo Fujita³, Tohru Honda², Takeyoshi Onuma² (1.ORC, 2.Kogakuin Univ., 3.Kyoto Univ.)

Keywords:MgZnO, Mist CVD, VUV

我々は、真空紫外域の発光材料として期待される岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛(RS-Mg_xZn_1-xO)に注目している。これまで、ミストCVD法で成膜したRS-Mg_0.9Zn_0.1O薄膜において、最短195 nmのCL発光が得られている。本発表では、更なる短波長発光の実現を狙い、原料溶液中Mgモル比を更に増加させたRS-Mg_xZn_1-xO薄膜の成膜結果について報告する。