[26a-E202-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[26a-E202-2] 岩塩構造MgZnO/MgO界面におけるバンドアライメント解析

〇松田 真樹¹、小川 広太郎²、太田 優一³、山口 智広¹、金子 健太郎⁴、藤田 静雄⁴、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大、2.オーク製作所、3.都産技研、4.京大院工)

キーワード：酸化マグネシウム亜鉛、バンドアライメント、ミストCVD

MgO (100)基板上にMgZnOをミストCVD法により成膜し、X線光電子分光法による岩塩構造Mg_xZn_1-xO/MgOのバンドアライメント解析を行った。前駆体溶液中の物質量比[Mg] : [Zn]=8 : 2の試料では、先行研究において光学測定から求めたバンドギャップエネルギーより伝導帯バンドオフセットは1.11 eVとなり、バンドアライメントはタイプⅠであることが分かった。