[26a-E203-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[26a-E203-2] 反射PhCを用いた高効率230nm帯LEDの作製と評価

〇鹿嶋 行雄¹、松浦 恵里子²、定 昌史¹、前田 哲利¹、篠原 秀敏³、古田 寛治⁴、上村 隆一郎⁴、青山 洋平⁵、岩井 武⁵、長野 丞⁶、大神 浩之⁷、祝迫 恭⁷、飯村 一樹⁸、平山 秀樹¹ (1.理研、2.丸文、3.芝浦機械、4.アルバック、5.東京応化、6.大日本印刷、7.日本タングステン、8.ファームロイド)

キーワード：230nm UVC-LED、フォトニック結晶、光取出し効率

230nm帯LEDはAl組成比が80％以上となり、TM光が横方向から放射されるために光取出し効率(LEE)が1.3%に低下する。我々はp-GaNコンタクト層に反射フォトニック結晶を形成することでLEEを増加するLEDの作成・評価を行った。