09:30 〜 09:45
[26a-E302-3] 偏光分布コンバーターを挿入したカメラ観察システムによるナノ段差計測
キーワード：液晶、空間偏光変調器、表面形状計測
ビームの偏光分布を変換する装置をカメラに装着することで，観察対象の微細な凹凸を計測する機能を付与した．入射ビームがもつ偏光分布を反射光がどれだけ保存しているかを計測することで，試料表面の僅かな変化を検出することができる．本装置により試料表面の微小な段差による光路の変化を光強度に変換して撮像した．その結果，10nm以下の段差検出が確認されたほか，μmスケールでの段差計測も可能であることが分かった．