[26a-E307-1~9] 9.1 誘電材料・誘電体

[26a-E307-6] MF法による高緻密BaTiO₃膜作製に向けた粒子形状の最適化

〇松永 航輝¹、鈴木 宗泰²、銘苅 春隆²、早瀬 仁則¹ (1.理科大機械工、2.産総研HARC)

キーワード：強誘電体、チタン酸バリウム、室温プロセス

最近、複合セラミックスの機能性を高めることを目的とした高温プロセスによる技術的課題克服に向けて、相対密度90％を超える高緻密なセラミック凝集膜作製をプレス成型のみで達成するメガプレスフォーミング(MF)法が開発された。このMF法でプレス成型された相対密度94％のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)が、熱処理すること無く、残留分極値40 μC/cm²の飽和したヒステリシスループを示したことで、当該手法の本質的優位性が実証された。一方で、環境問題の観点から、デバイス実装には非鉛系強誘電体であることが望ましい。加えて、MF法で用いる原料粒子形状が膜密度に与える影響も明らかにする必要もある。本研究では、非鉛系強誘電体の代表的なエンドメンバーであるチタン酸バリウム(BTO)を様々な合成方法で作製し、粒子形状とMF膜の密度の関係を調査したので報告する。