[26a-P04-1~17] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[26a-P04-5] Property Control of Fuluorosilane Thin Films by Electron-Assisted Deposition

〇Hiroki Kojima¹, Kuniaki Tanaka¹, Hiroaki Usui¹ (1.Tokyo Univ. Agricul & Technol)

Keywords:Thin Films, Vacuum, organic materials

本研究に用いたフッ素系オリゴマーは基板への付着性が強い特徴がある。そこで、電子アシスト蒸着法を用いて製膜し、製膜条件が膜特製に与える影響を調査した。ＩＲ測定と反射率測定を用い、構造評価と光学特性の評価を行った。