[26a-P04-1~17] 12.1 作製・構造制御

[26a-P04-5] 電子アシスト蒸着によるフッ素系シラン薄膜の特性制御

〇児嶋 宏紀¹、田中 邦明¹、臼井 博明¹ (1.農工大院工)

キーワード：薄膜、真空、有機材料

本研究に用いたフッ素系オリゴマーは基板への付着性が強い特徴がある。そこで、電子アシスト蒸着法を用いて製膜し、製膜条件が膜特製に与える影響を調査した。ＩＲ測定と反射率測定を用い、構造評価と光学特性の評価を行った。