[26a-P04-1~17] 12.1 作製・構造制御

[26a-P04-6] イオンアシスト蒸着重合法を用いた有機‐無機ハイブリッド高分子薄膜ナノスケール積層構造の作製

〇(M2)宮山 拓実¹、臼井 博明¹ (1.農工大院工)

キーワード：真空蒸着、ナノスケール積層構造、無機有機複合材料