[26p-E104-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[26p-E104-2] 高濃度イオン注入/アニールSiCのカーボンコーティングによる表面構造の影響

〇石地 耕太朗¹、有田 誠²、足立 真理子³ (1.九州シンクロ、2.九州大、3.ナノフォトン)

キーワード：SiC、注入層構造、走査型プローブ顕微鏡

イオン注入SiCのアニール過程では、表面荒れを防ぐためカーボンをコーティングする。しかし、高濃度注入において、アニールしても結晶回復せず格子乱れが残る。そこで、高濃度注入SiCのカーボンコーティングした試料とコーティングしない試料に高温アニールを行い、走査型プローブ顕微鏡でコーティングによる表面構造の影響を調査した。その結果、コーティングした試料の表面にユニークな規則的構造が見られた。