[26p-E202-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[26p-E202-9] Ga₂O₃ ナノワイヤーの比較的低温熱処理における結晶構造の変化

〇(M2)廣田 奎史郎¹、向井 剛輝¹ (1.横浜国大院理工)

キーワード：ワイドギャップ半導体、ナノワイヤー、酸化ガリウム