[26p-F308-1~4] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [26p-F308-4] Atomic-step-patterns on PEDOT:PSS thin films formed by thermal nanoimprinting

〇(M1)Yuto Maeda¹, Naho Kaneko¹, Tomoaki Oga¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:periodic nanopatterns, conductive polymer, thermal nanoimprint

PEDOT:PSS薄膜へのシングルナノスケール以下の表面パターニングや、その物性への影響に関する知見は、デバイス形成と特性制御に貢献すると期待できるが、そのような報告は数少ない。本研究では、PEDOT:PSS薄膜表面への熱ナノインプリントによる原子レベルパターン転写および電気特性変化について検討した。PEDOT:PSS薄膜表面に高さ約0.3 nmのステップパターンが転写されたことが確認できた。講演では、導電特性変化との相関についても示す。