[26p-F408-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [26p-F408-5] タンデム太陽電池のボトムセルに向けたIWO膜の成膜条件の検討

〇張 時雨¹、西原 達平¹、Lee Hyunju^1,3、大下 祥雄²、小椋 厚志^1,3 (1.明治大学、2.豊田工大、3.明大 MREL)

キーワード：IWO薄膜、透明導電膜、タンデム太陽電池

高効率化なタンデム太陽電池に使われるボトムセルとしての結晶Si太陽電池では、透明導電膜(TCO)に長波長領域(900-1200 nm)で高い透過率が要求される。特に裏面では良好な反射率を得るために比較的に厚い膜を使用する。一般的なTCOであるITO(数%の錫ドープ酸化インジウム)は、長波長領域で自由キャリア吸収(FCA)による光学損失が大きいため、代替材料が探索されている。In₂O₃にタングステンをドープしたIWO膜は、ITOと同等の抵抗率を維持したまま、長波長領域で高透過率を有するため、注目を集めている。本稿では、長波長領域におけるIWO膜の透過率に及ぼすO₂/Ar流量比及び熱処理温度の影響について検討した。