10:45 〜 11:00 △ [17a-A205-7] 成膜パラメータの寄与度解析に基づく、 水素化アモルファスカーボン薄膜のエッチ耐性の向上 〇(M1)安藤 悠介1、近藤 博基2、石川 健治2、堤 隆嘉2、関根 誠2、堀 勝2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ)