13:30 〜 15:30
〇渡部 善幸1、加藤 睦人1、矢作 徹1、村山 裕紀1、山田 直也1、吉田 一樹1、吉田 賢一2、前原 謙一2、野間 真樹子2、指田 和之2、保木 渉馬2、池田 克弥2、竹森 俊之2 (1.山形工技セ、2.新電元工業)
渡部 善幸
発表者・著者、共著者
2023年3月16日(木) 13:30 〜 15:30 PA03 (ポスター)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月16日(木) 13:30 〜 15:30 PA03 (ポスター)
13:30 〜 15:30
〇渡部 善幸1、加藤 睦人1、矢作 徹1、村山 裕紀1、山田 直也1、吉田 一樹1、吉田 賢一2、前原 謙一2、野間 真樹子2、指田 和之2、保木 渉馬2、池田 克弥2、竹森 俊之2 (1.山形工技セ、2.新電元工業)