14:45 〜 15:00 △ [15p-B309-6] 【注目講演】トモグラフィック発光分光計測によるアルゴン誘導結合プラズマの電子温度・電子密度の空間分布診断 〇(DC)山下 雄也1、土居 謙太2、清田 哲司2、浅川 慶一郎2、細谷 宗太郎1、菊地 航行1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.東工大、2.アルバック)