17:00 〜 17:15 [17p-A301-15] AlGaN/GaN HEMTsにおけるフェルミレベルピンニングに対するPECエッチングの効果 〇越智 亮太1、富樫 拓也1、大澤 由斗1、堀切 文正2、福原 昇2、赤澤 正道1、佐藤 威友1 (1.北大量集センター、2.住友化学)