15:45 〜 16:00 △ [15p-E102-9] 加熱イオン注入法によるアモルファスInGaZnO薄膜のシート抵抗値低減の検討 〇山根 裕也1、安田 圭佑1、宇井 利昌1、立道 潤一1 (1.日新イオン機器)