14:15 〜 14:30
〇後藤 哲也1、諏訪 智之1、須川 成利1 (1.東北大未来研)
後藤 哲也
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:30 B410 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:30 B410 (2号館)
14:15 〜 14:30
〇後藤 哲也1、諏訪 智之1、須川 成利1 (1.東北大未来研)