13:00 〜 13:15
〇本郷 仁啓1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.Hundred)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:30 B410 (2号館)
曽根 正人(東工大)、居村 史人(Hundred Semiconductors)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:00 〜 13:15
〇本郷 仁啓1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.Hundred)
13:15 〜 13:30
〇小粥 敬成1、田中 宏幸2、居村 史人2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.Hundred)
13:30 〜 13:45
〇古川 篤1、佐藤 慎哉1 (1.東芝デバイス&ストレージ)
13:45 〜 14:00
〇柄澤 元1、芳本 祐樹1、嶋田 章吾1、長橋 知也1、堀池 亮太1 (1.KOKUSAI ELECTRIC)
14:15 〜 14:30
〇後藤 哲也1、諏訪 智之1、須川 成利1 (1.東北大未来研)
14:30 〜 14:45
〇佐川 達哉1、原 明人1 (1.東北学院大工)
14:45 〜 15:00
〇佐々木 伸夫1,2、高山 智之2、笹井 陸杜2、浦岡 行治2 (1.Sasaki Consulting、2.NAIST)
15:00 〜 15:15
〇高山 智之1、佐々木 伸夫2,1、浦岡 行治1 (1.奈良先端大、2.Sasaki Consulting)
15:30 〜 15:45
〇手面 学1、浅野 孝典1、高石 理一郎1、富田 充裕1、齋藤 真澄1、田中 洋毅1 (1.キオクシア(株)メモリ技術研究所)
15:45 〜 16:00
〇葉 文昌1、大矢 雅人1 (1.島根大総合理工)
16:00 〜 16:15
〇(M2)門 龍翔1、伊藤 佑太1、慎 重赫1、横川 凌1,2、小椋 厚志1,2、川勝 一斗3、吉際 潤3、幸一郎 嵯峨3、岩元 勇人3 (1.明治大理工、2.明大MREL、3.ソニーセミコンダクタソリューションズ(株))
16:15 〜 16:30
〇野沢 公暉1、西田 竹志1,2、末益 崇1、都甲 薫1 (1.筑波大院、2.学振特別研究員)
16:45 〜 17:00
梶原 隆司1、岡田 竜弥2、コスワッタゲー チャリット ジェヤナダ2、野口 隆2、〇佐道 泰造1 (1.九大システム情報、2.琉大工)
17:00 〜 17:15
〇岡田 竜弥1、野口 隆1、菱田 光起2、宮野 謙太郎2、小畑 直彦2、信岡 政樹2 (1.琉大工、2.パナソニックコネクト)
17:15 〜 17:30
〇岡本 有貴1、山本 泰之1、村本 智也1、一木 正聡1、小林 健1 (1.産業技術総合研究所)
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