16:45 〜 17:00
梶原 隆司1、岡田 竜弥2、コスワッタゲー チャリット ジェヤナダ2、野口 隆2、〇佐道 泰造1 (1.九大システム情報、2.琉大工)
佐道 泰造
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:30 B410 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:30 B410 (2号館)
16:45 〜 17:00
梶原 隆司1、岡田 竜弥2、コスワッタゲー チャリット ジェヤナダ2、野口 隆2、〇佐道 泰造1 (1.九大システム情報、2.琉大工)