13:15 〜 13:30
〇小粥 敬成1、田中 宏幸2、居村 史人2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.Hundred)
小粥 敬成
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:30 B410 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:30 B410 (2号館)
13:15 〜 13:30
〇小粥 敬成1、田中 宏幸2、居村 史人2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.Hundred)