11:45 〜 12:00 [15a-D511-11] 炭化水素分子イオン注入ウェーハ表面における再結晶化挙動のTCADシミュレーション解析 〇小林 弘治1、奥山 亮輔1、門野 武1、柾田 亜由美1、廣瀬 諒1、鈴木 陽洋1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.SUMCO)