09:30 〜 11:30 [16a-PA06-12] 位相シフト照明式外観欠陥検査における人工構造と欠陥との弁別手法の確立 〇大西 義人1、瀬尾 欣穂1、松岡 正興2、芹川 滋3、津金 賢2 (1.(株)日立製作所、2.(株)日立ハイテク、3.(株)日立ハイテクソリューションズ)