堀内敏行

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発表者・著者、共著者

2023年3月15日(水) 10:30 〜 11:45 D209 (11号館)

一般セッション(口頭講演)
| 7 ビーム応用
| 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[15a-D209-1~5] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

11:30 〜 11:45

[15a-D209-5] 平面レチクルを用いた対向放物面ミラー立体投影露光の可能性

〇堀内敏行¹、小林宏史¹ (1.東京電機大工)