13:30 〜 15:30 [17p-PB01-2] MgとWを同時添加したAlN薄膜の作製 〇平田 研二1、豊福 朋也2、山田 浩志1,2、アンガライニ スリアユ1、新津 甲大3、上原 雅人1,2、秋山 守人1 (1.産総研、2.九大総理工、3.物材機構)