15:00 〜 15:15 [16p-A403-7] UV-LEDを用いたHfO2系強誘電体キャパシタのアニールプロセス省電力化に関する研究 〇山田 裕貴1,2、古江 悟1、横森 岳彦1、糸矢 祐喜2、更屋 拓哉2、平本 俊郎2、小林 正治2,3 (1.ウシオ電機、2.東大生研、3.東大d.lab)