13:30 〜 15:30
〇竹中 弘祐1、中本 壮太郞1、小鑓 亮輔1、都甲 将1、内田 儀一郎2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.名城大理工)
竹中 弘祐
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 13:30 〜 15:30 PB03 (ポスター)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）
2023年3月17日(金) 09:00 〜 11:30 A205 (6号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
09:30 〜 09:45
〇竹中 弘祐1、小松 響1、藤村 知輝1、都甲 将1、井手 啓介2、江部 明憲3、神谷 利夫2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.東工大フロ研、3.イー・エム・ディー)