16:00 〜 16:15 △ [15p-E102-10] In-Ga-O薄膜トランジスタにおける電気的特性の組成比及び熱処理温度依存性 〇星川 輝1、高橋 崇典1、上沼 睦典1、浦岡 行治1 (1.奈良先端大)