11:15 〜 11:30 [15a-D209-4] 化学増幅系レジストを対象とした電子線リソグラフィの確率論法-分子動力学法ハイブリットシミュレーション 〇中村 大紀1、山田 絵斗1、井上 文太1、安田 雅昭1 (1.阪公大院工)