10:30 〜 10:45 △ [15a-A502-6] バルクSi上への光集積に向けたSiGe/Ge層のエピタキシャル成長 〇(M1)佐藤 真希斗1、西依 輝1、Piedra-Lorenzana Jose A.1、飛沢 健1、石川 靖彦1 (1.豊橋技科大)