16:15 〜 16:30 [17p-B414-13] MONOS SiN膜中キャリア移動度の電界・温度依存性モデリング 〇内藤 慶太郎1、竹田 裕1、大倉 孝之1、下川 淳二1、津田 宗幸1、山下 博幸1、澤 敬一1、来栖 貴史1 (1.キオクシア株式会社)