09:30 〜 11:30 [16a-PA06-10] レーザーを用いた微小半導体チップの検査手法の開発 〇寺内 玲碧1、三上 勝大1、松山 哲也1、池田 研一2、中南 友佑2、大竹 政則2 (1.近大生物理工、2.株式会社オプト・システム)