09:30 〜 11:30 [17a-PB01-4] 粉末ターゲットを用いたスパッタリング法によるGa2O3薄膜の成長 〇及川 篤弥1、藤田 実樹1、永露 大希2、松本 凛太郎2、牧本 俊樹2 (1.一関高専、2.早大理工)