13:30 〜 13:45 [16p-D505-1] Cat-CVDで形成した積層非晶質Si膜でのFLAにより形成した多結晶Si表面のパッシベーション 〇(D)王 崢1、Tu Thi Cam Huynh1、大平 圭介1 (1.北陸先端大)