10:45 〜 11:00 [18a-D215-5] ALD法によるAl2O3ナノ構造を利用した放熱構造の試作と評価 〇禹 泰圭1、辻 祐樹1、林 翔平1、森 智衆1、伊佐早 祐大1、前田 讓治1、板谷 太郎2、天野 建2 (1.東京理科大学、2.産業技術総合研究所)