16:00 〜 16:15 [15p-D511-9] シリコン結晶基板の品質と点欠陥(9) Avogadro crystalの格子定数と炭素濃度分布 〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪公立大 放射線センター)
16:15 〜 16:30 [15p-D511-10] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(22) 窒素複合体の濃度測定標準手続き 〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪府大 放射線研究センター)
16:30 〜 16:45 [15p-D511-11] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(26)単結晶多結晶の赤外吸収標準測定法とSIMSの較正 〇井上 直久1、奥田 修一1、川又 修一1 (1.大阪府大 放射線研究センター)