[15p-D511-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-D511-11] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(26)単結晶多結晶の赤外吸収標準測定法とSIMSの較正

〇井上 直久¹、奥田 修一¹、川又 修一¹ (1.大阪府大 放射線研究センター)

キーワード：シリコン結晶、炭素濃度、赤外吸収

我々はこれまでに10^13-14/㎝³までの炭素濃度の赤外測定法を単結晶、多結晶、室温、低温について確立し、関係者に技術移転や開示してきた。またIDL8x10¹³/㎝3、spectral detection limitを得た。近年炭素濃度は国際単位系に関係してきた。産業ばかりでなく科学に必要な標準測定法を提案する。SIMS測定の感度と精度を赤外吸収により較正した。