13:30 〜 15:30 [16p-PA03-2] Fe ナノドットへの SiH4照射によるβ-FeSi2ナノドットの高密度形成 〇斎藤 陽斗1、牧原 克典1、王 子璐1、田岡 紀之1、大田 晃生1、宮﨑 誠一1 (1.名大院工)
13:30 〜 15:30 [16p-PA03-3] Fe超薄膜へのSiH4照射によるシリサイド化反応制御 〇斎藤 陽斗1、牧原 克典1、王 子璐1、田岡 紀之1、大田 晃生1、宮﨑 誠一1 (1.名大院工)