18:00 〜 18:15 [16p-B309-20] 自己整合プロセスによる非対称ゲート構造カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製 〇(M1)堀 秀汰1、内山 晴貴1、片浦 弘道2、大野 雄高1,3 (1.名大工、2.産総研、3.名大未来研)