16:30 〜 16:45 △ [15p-B309-12] 真空紫外吸収分光法による小型 ECR 窒素プラズマ中の窒素原子密度計測 ー活性窒素種の表面吸着確率評価のためにー 〇(M1)植林 彰吾1、佐々木 浩一1、魯 邦2、高草木 達2、朝倉 清高2 (1.北大工学院、2.北大触媒研)