09:30 〜 09:45 [17a-D419-3] 複合成膜により成膜された低屈折率 Al2O3光学薄膜の不均質の改善 〇(M2)加藤 寛康1、松平 学幸2、室谷 裕志1 (1.東海大院工、2.(株)シンクロン)