11:30 〜 11:45 [16a-E102-5] Mist CVD法による各種In系粉末を出発原料に用いたα-In2O3の成長機構に関する検討 〇山本 拓実1、田口 義士1、山田 梨詠1、永井 裕己1、関口 敦1、尾沼 猛儀1、本田 徹1、山口 智広1 (1.工学院大)