17:45 〜 18:00 [15p-A404-17] NbN電極上に作製したエピタキシャル (Al,Sc)N膜 の電気特性評価 〇(D)安岡 慎之介1、大田 怜佳1、岡本 一輝1、清水 荘雄2,3、舟窪 浩1 (1.東工大、2.物材研、3.JSTさきがけ)