10:45 〜 11:00 [15a-A301-6] 光学検査手法、フォトルミネッセンス法、X線トポグラフ法による3チャンネルSiCエピタキシャル層欠陥検出技術開発 〇先崎 純寿1、西野 潤一1、小山内 努1、山口 浩1 (1.産総研)