10:45 〜 11:00 [15a-A409-4] PLDによるY2O3薄膜成長におけるHeバッファーガスの効果 〇高橋 竜太1、鈴木 静華1、徳永 智春2、山本 剛久2、リップマー ミック3 (1.日大工、2.名大工、3.東大物性研)