09:15 〜 09:30
〇中道 修平1、本郷 仁啓1、三浦 典子1、居村 史人2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.（株）Hundred Semiconductors)
中道 修平
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
09:15 〜 09:30
〇中道 修平1、本郷 仁啓1、三浦 典子1、居村 史人2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.（株）Hundred Semiconductors)