10:15 〜 10:30
〇田中 宏幸1、徳永 博司2、野沢 善幸3、速水 利泰3、クンプアン ソマワン1,4、原 史朗1,4,5 (1.産総研、2.MTC、3.SPPテクノロジーズ、4.ミニマルファブ推進機構、5.Hundred Semiconductors)
田中 宏幸
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
10:15 〜 10:30
〇田中 宏幸1、徳永 博司2、野沢 善幸3、速水 利泰3、クンプアン ソマワン1,4、原 史朗1,4,5 (1.産総研、2.MTC、3.SPPテクノロジーズ、4.ミニマルファブ推進機構、5.Hundred Semiconductors)