10:30 〜 10:45
〇根本 一正1、谷島 孝1、三浦 典子2、佐藤 和重2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.(株)Hundred Semiconductors)
根本 一正
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
10:30 〜 10:45
〇根本 一正1、谷島 孝1、三浦 典子2、佐藤 和重2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.(株)Hundred Semiconductors)