11:00 〜 11:15
〇加瀬 雅1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.産総研、2.ミニマル、3.Hundred Semiconductors)
加瀬 雅
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
11:00 〜 11:15
〇加瀬 雅1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.産総研、2.ミニマル、3.Hundred Semiconductors)