11:15 〜 11:30
〇三浦 典子1、橋本 直樹2、北村 是尊2、居村 史人3,4、石田 夕起1,3、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3,4 (1.ミニマルファブ推進機構、2.フジインバック、3.産総研、4.(株)Hundred Semiconductors)
三浦 典子
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
11:15 〜 11:30
〇三浦 典子1、橋本 直樹2、北村 是尊2、居村 史人3,4、石田 夕起1,3、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3,4 (1.ミニマルファブ推進機構、2.フジインバック、3.産総研、4.(株)Hundred Semiconductors)